Ein chinesischer Hersteller soll erstmals Belichtungsmaschinen für 65-nm-Chips liefern können. Auch 28-nm-Halbleitertechnik steht schon in Aussicht.

Die chinesische Zeitung South China Morning Post hat über neue Belichtungstechnik zur Halbleiterfertigung berichtet, die von der chinesischen Regierung derzeit beworben werden. Es dürften die ersten komplett in China hergestellten 65-Nanometer-Geräte sein, bislang war 90 nm Stand der Technik bei chinesischen Unternehmen. Das Land holt damit weiter auf, auch wenn die Lücke zu ASML und Nikon groß bleibt.